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Amorphous and Nanocrystalline Materials: Preparation, Properties, and Applications
/Springer Verlag



 

  
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■アモルファス&ポリシリコン
 − イントロダクション

 シリコンのような無機結晶の半導体は、規則正しい構造がほとんど無限に繰り返されている。半導体に電気が流れるとき、その規則正しい結晶構造のなかを電子が移動する。

 ところが「
アモルファスシリコン(a-Si;amorphous silicon)」というのは、こういった規則正しい構造を持たず、単結晶のシリコンにないようなユニークな性格が現れてくる。応用でもTFT液晶ディスプレイ、太陽電池と、単結晶シリコンと違ったところで活躍している。

 また最近では、特に液晶ディスプレイ産業からの要請で、「
ポリシリコン(多結晶シリコン、p-Si;polysilicon)」というものが注目されている。やはりこちらも単結晶とはずいぶん異なる構造をとっている。


 今回の解体真書では、一般的なシリコンとは性格の異なるアモルファスシリコンとポリシリコンに焦点を当ててみよう。











アモルファスシリコン