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ナノエレクトロニクス
更新: 2002/10/27
ナノエレクトロニクス

有機トランジスタ&プリンタブル集積回路

お知らせ

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この「ナノエレクトロニクス」のホームページは、現在、サイエンス・グラフィックス株式会社がアーカイブとして管理しています。すべてのお問合せはサイエンス・グラフィックスまでお願いします。
また、このホームページは2003年までのもので、現在は内容的に古くなっている可能性がありますが、あらかじめご了承下さい。

イントロダクション

 一日に国内で印刷されている新聞紙の部数は朝刊だけでも5000万部にもなる。このニーズにこたえるためには、文字通り飛ぶように新聞を印刷していく高 速輪転機が必要となる。その性能はまさに驚愕もので、最高で一時間あたり15万部(1部4ページ)を印刷することも可能だ。

 印刷速度という点では新聞の輪転機と比べて劣るが、パソコンとともに家庭に普及したプリンタも見逃すことが出来ない。国内でプリンタの普及台数は 1000万台近くだと考えられ、仮にこれがフル稼働すれば、数の上では高速輪転機よりもポテンシャルが高いことになる。

 …もし、こんなふうに手軽に集積回路が印刷できたらどれほどよいことか。

 現在の半導体集積回路は、真空、高温、超高価な装置などと、とにかく複雑な製造行程を経て出来あがる(「ICチップが出来るまで」を参照)。輪転機やプリンタで新聞を印刷するのとは桁違いに作業が複雑だ。

 しかし最近になって事情が変わってきた。急速に展開してきた有機エレクトロニクスにより、無機結晶の半導体ではなく導電性高分子を使ったトランジスタなどが試作されるようになってきた。これによっていずれは、プラスチックで出来た集積回路が輪転機やプリンタといったお手軽な装置で大量安価に作ることが可能になるだろう。

 もっとも性能の面では、プラスチックトランジスタはシリコントランジスタに対して勝ち目はない。しかしプラスチックトランジスタは、プラスチックならで はのフレキシビリティや軽さ、薄さ、それに安さによって、シリコンにはないニッチ市場を広げることが可能だ。ここではプラスチックトランジスタの性能や、 製造行程、「ならでは」の応用例などを見ていくことにしよう。

有機ELの科学:ホタルの発光から量子効率まで
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有機トランジスタの基礎

 有機トランジスタは従来の無機結晶のトランジスタと比べて、どのような違いがあるのだろうか?

 トランジスタ(FET)の動作原理そのものは、両者でそれほど大きな違いはない。しかし製造方法や応用範囲などは、両者間でまったく異なる。また、有機トランジスタとひとことに言っても、使用する有機分子が低分子系高分子系かで、その製造方法や用途も大きく異なる。

 そこで有機分子トランジスタの特徴をつかむためにも、無機結晶、有機低分子、有機高分子の三つのタイプの電界効果トランジスタ(FET)を、構造、材料、性能、製造プロセスといった点から比較してみることにしよう。

 表.無機結晶、有機低分子、有機高分子のトランジスタの比較一覧

  無機結晶 有機低分子 有機高分子
FETの構造
①シリコン基板、②ソース、③ドレイン、④絶縁膜、⑤ゲート電極(MOS FETの場合) ①基板(透明なガラスやフレキシブルなプラスチックシートも可能)、②ソース、③ドレイン、④絶縁膜、⑤ゲート電極、⑥半導体層
材料
(代表例)
 主にシリコンが中心になっているのには、次のような理由が挙げられる。

・ケイ素そのものは地表に無尽蔵に存在している。
・ドーピングによって良質のP型、N型半導体を得ることが出来る。
・シリコン酸化物(SiO2)が非常によい絶縁膜(④)になる。
・結果として、コスト面などで集積化に有利。

 低分子系の有機トランジスタでは、ペンタセン(下図)やナフタセンなどの単結晶が半導体層(⑥)に用いられている。
図.ペンタセン
 高分子系の有機トランジスタでは、例えば…

②③⑤のような導体にPEDOT(ポリチオフェン系)やPPV(ポリフェニレンビニレン)などが用いられている。

④の絶縁膜にはPVPh(ポリビニルフェノール)などが用いられている。

⑥の半導体層にはポリチオフェン系などのものが使われているが、ここでのキャリア移動度がトランジスタの性能を大きく左右するため、重要視されている。

性能  トランジスタの性能とはスイッチング周波数fの大小のことである。

とくにfの値を左右するのがキャリア移動度ゲート長である。キャリア移動度が高いほど、またゲート長が短いほどfの値は大きくなる。

シリコンのキャリア移動度は、単結晶なら103cm2/Vs、多結晶なら102cm2/Vs、アモルファスなら1cm2/Vs程度である。(「アモルファス&ポリシリコン」を参照。)

 基本的に有機低分子単結晶のキャリア移動度は、無機結晶と比べてはるかに低い。数年前まではせいぜい10-5~10-2cm2/Vs程度だった。

しかし最近の研究開発のおかげで、低分子のキャリア移動度はa-Si程度の0.1~1cm/Vsが達せられるようになってきた。例えば、1999年にベル研がペンタセン単結晶を用いて、a-Si並のキャリア移動度を持つ有機トランジスタの作成に成功している。

 高分子のキャリア移動度は低分子の単結晶よりも劣り、10-7~10-5cm2/Vs程度だった。

これは高分子が結晶構造をとっておらず、電子が分子内をホッピングなどによって移動しているためだと考えられる。

しかし製造プロセスの段階で高分子の配向をそろえることで、キャリア移動度を劇的に挙げることが出来るため、最近では新材料の開発と合わせて製造プロセス技術の研究も盛んに行われている。

製造プロセス  クリーンルームなどの大規模な施設、露光工程や不純物添加工程などの複雑な製造プロセスなど。年々、施設建造に必要な投資が膨大になってきている。(「ICチップが出来るまで」を参照。)  有機低分子は溶媒溶解性に乏しいため、一般には昇華蒸着などの方法を用いる。そのため、高分子のように輪転機やインクジェットプリンタなどを用いた簡易なトランジスタ作成を実現するのは難しいとされている。  塗布製膜により高品質薄膜層が作製できることから、インクジェット輪転機などの印刷プロセスの適応ができる。

これによって直接描画が出来るようになり、製造プロセスを大幅に簡略化できる他、曲面への印刷なども可能となり、用途の幅が広がる。

 高分子を用いたトランジスタは、製造プロセスの改良次第でスイッチング周波数を大きく向上させられると考えられている。また輪転機印刷やインクジェット プリンタ印刷などの簡易な製造方法と、幅広い応用範囲の可能性から、低分子系よりも高分子系有機トランジスタの方が多いに注目されている。

 そこで次のページでは、高分子系の有機トランジスタの製造プロセスの詳細を見てみることにしよう。

プリンタブル集積回路、必要な技術

成形容易な高分子エレクトロニクス

 あたりの人工物を見まわしてみると、そのほとんどが合成高分子で出来ていることに気づく。あなたが着ている服も、今たたいているキーボードも、そして一 見木目調の壁紙も実は合成高分子で出来ていることが多い。身の回りの人工物のほとんどが合成高分子から出来ているのにはいくつかの理由がある。そのなかで も重要なのが合成高分子の成形の容易さだろう。特にエレクトロニクス分野では、薄膜形成が容易だということがキーポイントとなってくる。

 薄膜形成は固体のものと液体のものとで製造プロセスが大きく異なる。

 シリコンエレクトロニクスの薄膜形成は前者の方で、蒸着法などのプロセスがとられている。蒸着というのはなかなかシビアなプロセスで、真空や高温などの条件を満たさなければならない。しかも技術的な要因から、直径300mmウエハなどというふうに非常に狭い面積に限られる。

 一方、有機エレクトロニクスでは高分子が溶解した液体状態なので、まるでインクをつけてスタンプを押したり、インクジェットで吹き付けたりと容易に薄膜を形成できる。それではこれらの技術について具体的な内容を見ていこう。

ポンっとスタンプで – マイクロコンタクトプリンティング

 チオール基(-SH)と金基板との間では特殊な化学結合が生じ、チオール基が整然と配列する「自己組織化膜(SAM;Self-Assembled Monolayer)」ができあがる。このアルカンチオール(RSH)をあたかもインクのように用い、金基板に転写するのが「マイクロコンタクトプリンティング(micro contact printing)」法である。この方法はハーバード大学のG.Whitesidesによって提唱された。

 具体的には次のようなプロセスを踏む。


①マスター盤の作成:電子線リソグラフィーやフォトリソグラフィーなどを用いてシリコンなどを微細加工し、高分子スタンプのマスター盤を作成する。
②溶解PDMSの塗布:液状のPDMS(polydimethylsiloxane)をマスター盤の上に塗布する。
③PDMSスタンプの完成:PDMSが固体化しマスター盤からはがすことで、高分子スタンプが完成する。
④インクの塗布:高分子スタンプにアルカンチオールをインクとして付着させる。
⑤金基板にインクの転写:インクのついた高分子スタンプを金基板に押しつけ、インクを転写する。
⑥印刷:自己組織化膜が形成し、印刷が完了する。



 このマイクロコンタクトプリンティング法では、数ミクロンからサブミクロンという非常に微小な構造の作成が可能になるとされている。電界効果トランジス タではチャンネル長を小さくすることが性能向上につながるため、これがマイクロコンタクトプリンティング法の利点といえる。

 なお、マスター盤を作成するのにはリソグラフィーなどの従来の半導体微細加工技術を使用しなければならないが、いったんマスター盤が完成すればあとはそれを使いまわすことで比較的短時間で効率よく印刷が行われるとされている。

 この方法を採用して、E Inkと共同開発をしているベル研が電子ペーパーの有機駆動回路の作成に成功している。

家庭のホームプリンタでチップを印刷

 かつては、ハンダゴテを片手にラジオを分解して電子回路をいじくりまわす工作小僧がどこにでもいたが、最近ではその数もめっきり減ってしまった。ところ が21世紀になって、別のかたちでそういった工作小僧が復活するかもしれない。しかし、ハンダゴテではなく、パソコンのプリンタを用いて…。

 最近では国内外のベンチャー企業を中心として、液状高分子をインクとしてインクジェット型プリンタで電子回路を描画してしまおうという試みがなされている。その方法について下図に示す。


図.インクジェットプリンタで有機電子回路を印刷(モデル図)



 これまでインクジェットプリンタを用いた方法では、印刷が「にじんで」微細な回路が作れないことが問題となっていた。しかし最近になって、英国のベンチャー企業Plastic Logic社が、疎水性のpolyimide(絶縁体)をスペーサー役として用いることで、微細な回路を鮮明に印刷することに成功している。

 国内では産業技術総合研究所ナノテクノロジー研究部門ハリマ化成と共同で、インク吐出量をフェムトリットル(市販のプリンタはピコリットルであり、フェムトはこの1/1000)にすることで、超微細回路の描画に成功している。
 従来の1/1000以下の微細液滴を吐出する「超微細インクジェット技術」を開発 – 産総研(プレスリリース 2002/4)

 また同研究所の光技術研究部門では、常温常圧下における簡易印刷プロセスで製造可能な「トップアンドボトムコンタクト型素子構造」を提案し、チャンネル長が0.5μmというサブミクロン領域の造形に成功している。
 
印刷プロセスで製造できる有機薄膜トランジスタを開発 – 産総研(プレスリリース 2002/1)

 インクジェットを採用した方法は、マスクの作成などの複雑なステップを経ることなく直接描写が可能なため、製造プロセスの大幅な簡略化が図れると期待さ れている。また曲面印刷も可能など、従来の半導体微細加工では難しかった応用例が実現できるとされている。

"Roll2Roll"


新聞のように輪転機で集積回路を印刷

 
ある意味、究極的なハイスループットの集積回路の印刷技術は、輪転機を用いて"roll-to-roll"に印刷していく方法だろう。米国のベンチャー企業Rolltronics社Iowa Thin Film Technologies社Alien Technologies社などが、こういった輪転機を用いた印刷方法を開発している。

 ただし、上の開発チームが用いているのは、有機分子ではなくアモルファスシリコンなどの無機非結晶である。ただ、高分子もたいていが非結晶であること や、最近では有機分子のキャリア移動度が向上しアモルファスシリコンに近づいていることなどを考えると、この技術は有機エレクトロニクスにも利用できるか もしれない。

 なお、このプリンタブル回路はシリコン単結晶のものとは性能で大きな差があるため、高密度集積回路のような用途には向かないとされている。ただし、制作 コストが安価なことや薄型・フレキシブル化が可能なことから、RFIDタグ(次頁参照)やフラットパネルの駆動回路などの用途が想定されている。

「ならでは」の応用例

高速化するほど広がる有機トランジスタの応用分野

 
何度も繰り返すようだが、一般に有機分子のキャリア移動度はシリコン単結晶と比べてはるかに小さい。しかし、図に示すように、有機分子のキャリア移動度は年々上昇を続けており、すでにアモルファスシリコンの領域にまで達している。

 またキャリア移動度が上昇すれば、トランジスタのスイッチング周波数も向上する。こうして有機トランジスタが高速化すれば、それまでアモルファスシリコンが担ってきた液晶ディスプレイ(LCD)のTFT(thin-film transistor)や、より高速なポリシリコンやシリコン単結晶が担っているLCDのドライバ回路に有機トランジスタを利用することが出来る。

 他にも、高速な有機トランジスタは「RFID(radio-frequency idifiencier)タグ」などに使えると期待されている。RFIDタグもやはり現在はアモルファスシリコンなどの無機物が利用されているが、仮に材料・製造コストが安い合成高分子で代用できるようになれば、はかりしれないほどのインパクトを社会に与えることになるだろう。

すべてのものにチップを – RFIDタグ

 RFIDタグにはバーコードのように製品を一括管理しやすい名札としてのはたらきがあるが、バーコードとの大きな違いはいちいちバーコードリーダーを近 づけて読み取る必要がないということだ。つまり、特定のゲートを通過するだけで、RFIDタグの情報が認識される。この身近な例を挙げれば、書店で設置さ れている万引き防止用の装置がそうだ。CDやテレビゲームのような高価な商品にはこのRFIDタグが取り付けられている。この万引防止という用途はどちら かというと消極的な利用方法だが、RFIDタグにはこんな積極的な利用方法も考えられる。

 例えば、夕飯の支度時間の17,18時のスーパーは客でレジに行列が出来ている。多くの人がこれにうんざりしているだろう。しかし、すべての商品に RFIDタグが取り付けられていれば、カートに商品を入れたままゲートのようなものを通過するだけで精算が終了してしまうという寸法だ。


有機RFIDタグで便利になるショッピングの精算

 現在、無機結晶のRFIDタグが技術的に可能なのに、こういった利用がされていないのは、RFIDタグの材料費や製造コストの問題から、すべての商品に タグをつけていては採算が合わないことがあげられる。誰も100円の缶ジュースに100円のコストがかかるRFIDタグをつけるようなことはしないだろ う。しかし有機高分子でRFIDタグが作成できるようになれば、コストは大幅に下げることが出来る。

 なお、すべての商品にタグをつけていては、識別ナンバーが足りなくなってしまうのではないかと心配する人もいるかもしれないが、決してそんなことはない。単純に計算すれば、64bitのRFIDタグなら264(=1.8×1019)個の商品を識別することが出来る。256bitなら2256(=1.2×1077)個の商品を識別することが出来る。おそらくこの数は地球上すべての原子にタグをつけるのに十分なほどだろう。

 現在、安価なRFIDタグの製造を目指して、米国の多数のベンチャー企業が研究開発を行っている。

フレキシブル・ディスプレイはフレキシブルなTFT、ドライバ回路が必要

 有機ELディスプレイ電子ペーパーは、従来のLCDにはないフレキシブルという性質が大きな売りとなっている。確かに特有の表示原理からそれは可能なのだが、これはあくまでフレキシブルなTFT、ドライバ回路が実現したら…の場合である。


電子インクの部分は除くとして、プラスチックフィルタ、ドライバ層など他のすべてが有機高分子から作成されることで、真にフレキシブルなディスプレイが完成する。

 一般に、動画表示ディスプレイのTFTには104Hzのものが必要となり、駆動回路には107Hz程度のものが必要となる。有機トランジスタにとってはこのハードルは決して低くはない。しかし薄膜加工の技術進歩などによって、すべてが有機分子からなるディスプレイが登場するのも夢ではないかもしれない。

 現在では、E Inkと共同研究を行っているベル研などが電子ペーパー向けの有機TFTなどの開発を行っている。

今後の展望&リンク集

今後の展望
 有機トランジスタが従来のシリコントランジスタに替わることはまずありえない。しかし、「ならでは」の応用例のページでも見てきたように有機トランジスタ&プリンタブル回路の応用範囲は広いだけに、経済的なインパクトははかりしれない。特に電子ペーパーなどは、「電子小説」などのコンテンツの充実も含めて、300億ドル規模の市場になるという試算もある。

 では現在、有機トランジスタ&プリンタブル集積回路の研究開発はどの段階まできているのだろうか?確かに現時点では、基礎研究が終了したとは言いがた い。しかし、特に欧米では製品化に向けて、多くの企業が提携をはじめている。

 有機トランジスタ&プリンタブル集積回路は、化学分子などの材料、駆動回路などの設計、印刷など、一つの企業だけではカバーしきれないほど多様な施設や 技術が必要となる。そのため、特に米国では半導体産業で分業化が進んでいるように、有機エレクトロニクスでも分業化を進めようという考えのようだ。

 例えば、MotrolaDow ChemicalXeroxの三社が独自の技術を生かして提携を発表している。他にも、IBMLucentPhilipsDuPont3MSiemensといったビッグメーカー、大学やベンチャー企業なども提携を活発化させている。国内でもこういった動きが活発化している。

リンク集
 ナノエレクトロニクスより
  有機ELディスプレイ
  液晶ディスプレイ
  導電性高分子
  ポリシリコン&アモルファスシリコン
  トランジスタ
  ICチップが出来るまで

 外部リンク集
  R&Dリンク集
   国内

    産業技術総合研究所
      ・ナノテクノロジー部門
      ・光技術部門
    ナノテック
    ハリマ化成
   海外
    大手企業
    Motrola
    Dow Chemical
    Xerox
    IBM
    Lucent
    Philips
    DuPont
    3M
    Siemens
    ベンチャー企業
    Cambridge Display Technology
    E Ink
    Rolltronics
    Plastic Logic
    Alien Technology
    Iowa Thin Film
    DieceLand

  ニュース&解説
   "How Printable Computers Will Work" – howstuffworks.com
   Physical Science; Plastic Transistor – Bell Lab.
   ULVACとハリマ化成、金ナノペーストでワイヤボンディング工程簡素化 – 日経BizTech(2003/1)
   Flexible Displays Gain Momentum – Technology Review(2002/1)
   Flexible Transistors on a Roll – Technology Review(2002/1)
   Bright Future for Plastic Valley – Frost.com(2002/1)
   Organic Transistors Expedite Flexible EL Displays – AsiaBitzTech(2001/12)
   Start-Up Rolls Out Polymer Microchips – Spectrum(2001/5)
   The Promise of Plastic Transistors – Business2.0(2001/4)
   New Printing Technologies Raise Hopes for Cheap Plastic Electronics – Physics Today
   Printing Plastic Transistors – Bell Lab.(1998/3)
   印刷プロセスで製造できる有機薄膜トランジスタを開発 – 産技研(2002/1 プレスリリース)
   従来の1/1000以下の微細液滴を吐出する「超微細インクジェット技術」を開発 – 産技研(2002/4 プレスリリース)